하드웨어
하드웨어 솔루션
소프트웨어까지 탑재해 공급하는 세 가지 장비. 상부 모듈을 올려 쓰는 AMR 플랫폼, 반도체 웨이퍼 검사 장비, 그리고 다이 픽업 테스터.
AMR 플랫폼
주행 소프트웨어와 관제까지 탑재한 P250 주행 베이스. 길이 3종, 데크 인터페이스 동일, 하중·무게중심·데크 토크 동시 충족 정격.
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WIS-300 검사 장비
ø300 mm 웨이퍼 매크로 결함 검사. 하나의 광학 헤드로 명시야와 암시야를 모두 수행, 웨이퍼 전면을 296 필드로 촬영.
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DPT-150 다이 픽업 테스터
확장된 다이싱 테이프에서 개별화된 다이가 깨끗하게 픽업되는지 확인하는 Ø150 mm 웨이퍼용 탁상형 장비. 익스팬더, 니들 이젝터, 진공 콜릿이 하나의 고정된 픽업 지점에서 동작.
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